研发能力

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集成电路材料微分析平台

        集成电路材料的质量监控至关重要,材料的物理特性、电学特性、化学特性都会影响到集成电路的制造和工艺,最终影响芯片的性能。符合集成电路Fab厂最终需求的集成电路材料需要检测分析、工艺技术、生产设备的协同配合才能实现整体性技术突破。

        材料研究院将聚焦衬底材料和工艺材料,联合行业领先高校、科研院所、头部企业,共同建设开放性材料微分析平台,该平台具备材料性能的测试表征以及材料在应用环境中的分析检测两大功能。 

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