研发方向-上海集成电路材料研究院-致力于集成电路材料的研发与产业化，为集成电路材料发展提供坚实的创新策源。

研发能力

研发能力

衬底材料

Substrate Material

300mm硅片

压电异质晶圆

SOI

宽禁带半导体

工艺材料

Process Material

光刻材料

光掩模

抛光材料

工艺化学品

电子气体

靶材

聚酰亚胺

材料应用研发平台

IC MATERIALS APPLICATION R&D PLATFORM

集成电路材料应用研发平台

材料基因组创新体系

IC Materials Genome Innovative System

集成电路材料基因组创新体系