研发服务

研发服务

光刻材料服务能力

集材院应用研发平台针对光刻材料,可提供从性能检测到应用验证的全流程服务,包括树脂、单体、溶剂等材料的性能测试、定 制化成分分析、光刻工艺验证与开发、光刻材料设计仿真等,有效降低光刻材料研发时间及成本。


光刻材料服务能力





🔷  光刻材料表征测试

√树脂、单体、有机溶剂、光刻胶COA 测试

√光刻材料深度分析


🔷  光刻工艺验证

√G line/l line/KrF/ArF光刻胶光刻/刻蚀/去胶工艺

√上机验证


🔷  光刻材料设计仿真

√材料设计

√生产工艺优化

√材料与工艺的构效关系建立


光刻材料测试服务


测试材料

测试服务

测试设备

树脂

分子量与分布

GPC

分子官能团分析

FTIR

紫外吸收及含量分析

UV

热分解温度

TGA

玻璃化转变温度

DSC

金属离子测试

ICPMS

阴离子测试

燃烧炉IC

分子结构分析

NMR

大分子结构分析

MALDI-TOF

水分测试

卡尔费休水分仪

成分分析

热裂解仪

颜色

色度计

有机物单体溶剂

金属离子测试

ICPMS

阴离子测试

IC

颗粒度

液体颗粒计数器

水分测试

卡尔费休水分仪

含量测试

气相gc

低沸点有机物测试

GCMS

高沸点有机物测试

UPLC

光刻胶材料

金属杂质

ICPMS

颗粒度

液体颗粒计数器

含水率

卡尔费休水分仪

粘度

粘度计

密度

密度计

固含量

固含量测试仪

膜厚

椭偏仪、旋涂机

阴离子测试

燃烧炉IC

光刻材料分析

分离纯化

分离层析柱

图谱综合解析

红外,NMR,质谱热裂解,XPS,等



🔻测试设备一览

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光刻工艺验证及开发服务


1、工艺验证与优化

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AI驱动的贝叶斯优化

以良率为指标,为材料厂生产部门设计时间、温度等工艺参数


2、光刻材料设计

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AI与材料科学计算结合

以材料COA为指标,为材料厂研发部门设计材料配方


 3光刻材料-工艺联合应用

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以材料应用试验反馈为指标,协同材料厂和FAB厂实现材料应用落地


联系我们


如有集成电路材料研发、测试验证、计算仿真需求,欢迎联系。


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